- 功能
检测wafer mask 的glass side/pellicle side表面particle
- 产品尺寸
6"wafer 光罩——玻璃:152×152mm；薄膜:149×113mm
- 精度
＞1μm particle检出
- 检测类型
异物，指纹，酒精痕，絮状物，油渍，划伤，针孔等缺陷
- 技术优势
Class 1无尘等级，曝光前后瑕疵管控，可针对Particle大小进行分类
Mask AOI
Mask AOI，用于检测wafer mask的glass side/pellicle side表面particle，Class 1无尘等级，曝光前后瑕疵管控，可针对Particle大小进行分类。
技术参数
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